ЭБС "КОНСУЛЬТАНТ СТУДЕНТА"
Студенческая электронная библиотека

Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур: сканирующая зондовая микроскопия

Для каталогаФилимонова Н.И., Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур: сканирующая зондовая микроскопия : учеб. пособие / Филимонова Н.И. - Новосибирск : Изд-во НГТУ, 2013. - 134 с. - ISBN 978-5-7782-2158-1 - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : http://www.studentlibrary.ru/book/ISBN9785778221581.html (дата обращения: 31.05.2020). - Режим доступа : по подписке.
АвторыФилимонова Н.И.
ИздательствоНГТУ
Тип изданияучебное пособие
Год издания2013
ПрототипЭлектронное издание на основе: Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур: сканирующая зондовая микроскопия: учеб. пособие / Н.И. Филимонова, Б.Б. Кольцов. - Ч. I. - Новосибирск: Изд-во НГТУ, 2013. - 134 с. - ISBN 978-5-7782-2158-1.
Озвучить текст
АннотацияПособие содержит подробное описание физических основ и экспериментальной техники методов сканирующей зондовой микроскопии. Рассмотрены вопросы применения этих методов в современной науке, технике и технологии. Предназначено для студентов, обучающихся по направлению 222900 "Нанотехнологии и микросистемная техника" для дисциплин "Методы анализа и контроля наноструктурированных материалов и систем", "Экспериментальные методы исследования и метрология", "Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов", "Методы диагностики и анализа микро- и наносистем", и студентов, обучающихся по направлению 210100 "Микроэлектроника и наноэлектроника" для дисциплины "Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных структур".
Гриф

Утверждено Редакционно-издательским советом университета в качестве учебного пособия

Загружено 2018-03-23 02:55:19