ЭБС "КОНСУЛЬТАНТ СТУДЕНТА"
Студенческая электронная библиотека

Элионная технология в микро- и наноиндустрии : ускоренные ионы

Для каталогаКузнецов Г.Д., Элионная технология в микро- и наноиндустрии : ускоренные ионы [Электронный ресурс] / Кузнецов Г.Д., Кушхов А.Р., Сергиенко А.А., Харламов Н.А. - М. : МИСиС, 2012. - 128 с. - ISBN 978-5-87623-556-5 - Режим доступа: http://www.studentlibrary.ru/book/ISBN9785876235565.html
АвторыКузнецов Г.Д., Кушхов А.Р., Сергиенко А.А., Харламов Н.А.
ИздательствоМИСиС
Тип изданияучебное пособие
Год издания2012
ПрототипЭлектронное издание на основе: Элионная технология в микро- и наноиндустрии : ускоренные ионы : учеб. пособие / Г.Д. Кузнецов, А.Р. Кушхов, А.А. Сергиенко, Н.А. Харламов. - М. : Изд. Дом МИСиС, 2012. - 128 с. - ISBN 978-5-87623-556-5.
Озвучить текст
АннотацияВ учебном пособии рассматриваются в основном практические результаты по изменению параметров приповерхностных слоев материалов электронной техники ионным внедрением примесей. Приводятся результаты по особенностям распределения внедренной примеси в аморфных и кристаллических материалах и их теоретическое обоснование. Анализируются результаты по легированию приповерхностных слоев с использованием так называе- мых атомов отдачи при ионном внедрении. Соответствует программе курса "Элионная технология в микро- и наноиндустрии". Предназначено для магистров, специализирующихся по направлениям "Электроника и наноэлектроника" и "Нанотехнология и микросистемная техника", и может быть полезно обучающимся по направлению "Наноматериалы".
Загружено 2017-08-23 01:59:53