ЭБС "КОНСУЛЬТАНТ СТУДЕНТА"
Студенческая электронная библиотека

Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии

Для каталогаБерлин Е.В., Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии / Берлин Е.В., Сейдман Л.А. - М. : Техносфера, 2010. - 528 с. - ISBN 978-5-94836-222-9 - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : http://www.studentlibrary.ru/book/ISBN9785948362229.html (дата обращения: 13.12.2019). - Режим доступа : по подписке.
АвторыБерлин Е.В., Сейдман Л.А.
ИздательствоТехносфера
Тип изданиясправочник
Год издания2010
ПрототипЭлектронное издание на основе: Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии Москва: Техносфера, 2010. - 528c., 16с. цв. вклейки - ISBN 978-5-94836-222-9.
Озвучить текст
АннотацияНастоящая книга представляет собой подробное справочное руководство по основным вакуумным плазмохимическим процессам в тонкопленочной технологии - реактивному магнетронному нанесению тонких пленок и ионно-плазменному травлению. В ней обобщено современное состояние этих процессов. Книга содержит подробное описание магнетронных напылительных установок и плазмохимических установок для травления тонких пленок. Рассмотрены технологические особенности их использования. Описаны способы управления процессами реактивного нанесения тонких пленок и использования среднечастотных импульсных источников питания. Показаны технологические особенности получения тонких пленок тройных химических соединений методом реактивного магнетронного сораспыления. Описана структура получаемых пленок и ее зависимость от параметров процесса нанесения. Приведены принципы конструирования источника высокочастотного разряда высокой плотности для ионного или плазмохимического прецизионного травления тонких пленок, а также его использования для стимулированного плазмой осаждения тонких пленок. Книга рассчитана на специалистов, занимающихся исследованием, разработкой и изготовлением различных изделий электронной техники и нанотехнологии, совершенствованием технологии их производства и изготовлением специализированного оборудования. Она также будет полезна в качестве учебного пособия для студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специализаций.
Загружено 2018-12-30 03:18:11