ЭБС "КОНСУЛЬТАНТ СТУДЕНТА"
Издательство ЮФУ (28.00.00 Нанотехнологии и наноматериалы )
Все издания
Показано 1..2 из 2

Издательство ЮФУ (28.00.00 Нанотехнологии и наноматериалы )

Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии

АвторыСветличный А. М.
ИздательствоИздательство ЮФУ
Год издания2017
В пособии рассмотрены взаимодействие световых потоков с полупроводниковой структурой, режимы обработки, процессы отжига и рекристаллизации поликремниевых и аморфных слоев, отжига и легирования полупроводниковых структур, формирование контактно- металлизационной системы, планаризация, а также получение диэлектрических пленок. Учебное пособие может быть использовано при подготовке магистров по направлениям 28.04.01 - Нанотехнологии и микросистемная техника, 11.04.03 -Конструирование и технология электронных средств, 11.04.04 - Электроника и наноэлектроника в курсе "Лучевые процессы нанотехнологии".
Загружено 2019-01-19 03:01:39

Нанокомпозиты на основе оксидов 3d-металлов: исследования морфологии и структуры методами электронной микроскопии и рентгеновской спектроскопии

АвторыЯловега Г. Э., Шматко В. А., Фуник А. О., Невзорова Н. М.
ИздательствоИздательство ЮФУ
Год издания2017
Монография посвящена результатам исследования морфологии, структуры и физико-химических свойств нанокомпозитных материалов на основе оксидов 3d-металлов с углеродной и кремниевой матрицами. Адресована специалистам, работающим в области рентгеновской спектроскопии, материаловедения и смежных специальностей. Может быть полезна аспирантам и студентам, обучающимся по направлениям "Физика", "Нанотехнологии и микросистемная техника", "Материаловедение". Результаты исследований, приведенные в монографии, были получены при поддержке гранта Южного федерального университета ВнГр-07/2017-30 и гранта Министерства образования и науки Российской Федерации № 11.2432.2014/K.
Загружено 2019-01-19 02:51:37
  • 1