ЭБС "КОНСУЛЬТАНТ СТУДЕНТА"
28.00.00 Нанотехнологии и наноматериалы (Инфра-Инженерия)
Все издания
Показано 1 из 1

28.00.00 Нанотехнологии и наноматериалы (Инфра-Инженерия)

Технологические процессы в микро- и наноэлектронике

АвторыРодионов Ю.А.
ИздательствоИнфра-Инженерия
Год издания2019
Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии, соответствующему оборудованию и оснастке, используемым для получения технологического слоя. Приводятся конкретные примеры решения обратных задач по определению технологических режимов получения слоев с заданными параметрами. Освещены регламентные работы в промышленном производстве. Рассмотрены основные экологические проблемы в промышленных технологиях. <br>Для студентов, обучающихся по специальности 11.00.00 "Электроника, радиотехника и системы связи", а также инженеров, занятых проектированием и обслуживанием электронных приборов.
Загружено 2020-03-14 04:37:59
  • 1