Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур
АвторыЮ. С. Боброва, Ю. Б. Цветков
ИздательствоМГТУ им. Н.Э. Баумана
Год издания2020
Рассмотрен процесс фотолитографии. Изложено описание процедур проведения экспериментов по определению разрешающей способности операций фотолитографии и жидкостного травления тонкопленочных медных структур. Представлена методика обработки полученных результатов травления и выявления на их основе бокового подтрава токопроводящих структур и неравномерности тонкопленочного покрытия по площади заготовки.<br>Для студентов, изучающих дисциплины "Технология и оборудование микро- и наноэлектроники", "Процессы и оборудование микротехнологии". ...
Downloaded
2021-09-16