АвторыМагунов А.Н.
Лазерная термометрия твердых тел
ИздательствоФизматлит
Тип изданияучебное пособие
Год издания2001
Скопировать биб. запись
Для каталогаМагунов, А. Н. Лазерная термометрия твердых тел / Магунов А. Н. - Москва : ФИЗМАТЛИТ, 2001. - 224 с. - ISBN 5-9221-0222-2. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://www.studentlibrary.ru/book/ISBN5922102222.html (дата обращения: 27.04.2024). - Режим доступа : по подписке.
АннотацияЛазерная термометрия основана на дистанционном измерении темпера-турно-зависимых параметров твердых тел с помощью зондирующего светового пучка и определении искомой температуры по известной температурной зависимости измеренного параметра. Рассматриваются принципы, особенности и ограничения ряда новых методов бесконтактного измерения температуры твердых тел. Проведено сравнение различных лазерных методов по ряду критериев, важных при практическом применении: чувствительности, инерционности, помехозащищенности, производительности измерений, сложности оптической схемы. Лазерная термометрия применяется в условиях, где традиционные методы оказались неэффективными: при взаимодействии газоразрядной плазмы, ионных или лазерных пучков с поверхностью, при нанесении тонких пленок и травлении микроструктур интегральных схем. Книга адресована специалистам в области термометрии, теплофизики, физики плазмы и газового разряда, плазмохимии, гетерогенного катализа, микроэлектроники, плазменно-пучковых технологий обработки твердого тела.