Автоэмиссионные наноструктуры и приборы на их основе

АвторыТатаренко Н.И., Кравченко В.Ф.

Автоэмиссионные наноструктуры и приборы на их основе

ИздательствоФизматлит

Тип изданияучебное пособие

Год издания2006

Читать online Скачать приложение

Содержание

Предисловие

Введение

Глава 1. Анализ современного состояния и тенденций развития вакуумных автоэлектронных микроприборов +

Глава 2. Физико-технологические принципы создания наноструктурных автоэмиссионных матриц на основе тонких пленок вентильных металлов +

Глава 3. Интегральная технология создания тонкопленочных наноструктурных автоэлектронных микроприборов +

Глава 4. Физические основы моделирования и расчета характеристик наноструктурных автоэлектронных микроприборов +

Глава 5. Характеристики тонкопленочных наноструктурных автоэлектронных микроприборов +

Список литературы

Скопировать биб. запись clipboard icon

Для каталогаТатаренко, Н. И. Автоэмиссионные наноструктуры и приборы на их основе / Татаренко Н. И. , Кравченко В. Ф. - Москва : ФИЗМАТЛИТ, 2006. - 192 с. - ISBN 5-9221-0695-3. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://www.studentlibrary.ru/book/ISBN5922106953.html (дата обращения: 27.04.2024). - Режим доступа : по подписке.

АннотацияВ книге дан анализ современного состояния и тенденций развития вакуумной микро- и наноэлектроники. Рассмотрены физико-химические основы процесса создания нового класса автоэмиссионных наноструктур на базе нанопористого анодного оксида алюминия. Приведены результаты исследований их геометрических параметров, элементного состава и эмиссионных характеристик. Представлена принципиально новая интегральная технология создания наноструктурных автоэлектронных микроприборов и систем их межсоединений на основе тонких пленок вентильных металлов и их анодных оксидов. Изложены физические основы процедуры моделирования и расчета характеристик этих микроприборов. Приведены их экспериментальные и расчетные характеристики. Предназначается для научных и инженерно-технических работников, аспирантов и студентов старших курсов, специализирующихся в области физической электроники, микро- и наноэлектроники.

Загружено 2014-04-30

Автоэмиссионные наноструктуры и приборы на их основе

Содержание

Оглавление