ЭБС "КОНСУЛЬТАНТ СТУДЕНТА"
Все издания

Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур

Для каталогаБоброва, Ю. С. Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур : практикум / Ю. С. Боброва, Ю. Б. Цветков. - Москва : Издательство МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2020. - 43 с. - ISBN 978-5-7038-5369-6. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://www.studentlibrary.ru/book/ISBN9785703853696.html (дата обращения: 05.12.2022). - Режим доступа : по подписке.
АвторыЮ. С. Боброва, Ю. Б. Цветков
ИздательствоМГТУ им. Н.Э. Баумана
Тип изданияпрактикум
Год издания2020
ПрототипЭлектронное издание на основе: Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур : практикум / Ю. С. Боброва, Ю. Б. Цветков. - Москва : Издательство МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2020. - 43, [1] с. - ISBN 978-5-7038-5369-6.
Озвучить текст
АннотацияРассмотрен процесс фотолитографии. Изложено описание процедур проведения экспериментов по определению разрешающей способности операций фотолитографии и жидкостного травления тонкопленочных медных структур. Представлена методика обработки полученных результатов травления и выявления на их основе бокового подтрава токопроводящих структур и неравномерности тонкопленочного покрытия по площади заготовки.<br>Для студентов, изучающих дисциплины "Технология и оборудование микро- и наноэлектроники", "Процессы и оборудование микротехнологии".
Загружено 2021-09-16