ЭБС "КОНСУЛЬТАНТ СТУДЕНТА"
Все издания

Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий

Для каталогаРабинович, О. И. Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий / Рабинович О. И. - Москва : МИСиС, 2015. - 88 с. - ISBN --. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://www.studentlibrary.ru/book/MIS073.html (дата обращения: 18.10.2021). - Режим доступа : по подписке.
АвторыРабинович О.И.
ИздательствоМИСиС
Тип изданияучебно-методическое пособие
Год издания2015
ПрототипЭлектронное издание на основе: Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий : учеб.-метод. пособие / О.И. Рабинович [и др.]. - М. : Изд. Дом МИСиС, 2015. - 88 с. - ISBN --.
Озвучить текст
АннотацияВ пособии излагаются теоретические основы технологических процессов роста полупроводниковых материалов и методы контроля в рамках курса "Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий". Предназначено для студентов, обучающихся по направлению 28.03.01 "Нанотехнологии и микросистемная техника" в качестве бакалавров, магистров и инженеров, при выполнении лабораторных работ, подготовке магистерских диссертаций и дипломных работ.
Гриф
Рекомендовано редакционно-издательским
советом университета
Загружено 2017-10-05