Справка
ЭБС "КОНСУЛЬТАНТ СТУДЕНТА"
Электронная библиотека технического вуза
Нанотехнологии и наноматериалы (Инфра-Инженерия)
Вход / регистрация
шрифт
en
Версия для слабовидящих
Каталог
Нанотехнологии и наноматериалы (Инфра-Инженерия)
Меню
Везде
По названиям
По авторам
К результату поиска
Расширенный поиск
Закладки
На главную
Вход / регистрация
шрифт
en
Управление
Мои отчеты
Каталог
Издательства
УГС
Мои списки
Скачать приложение
Оглавление
Close Menu
Каталог
Издательства
УГС
Мои списки
Все издания
Показано
1
из
1
Нанотехнологии и наноматериалы (Инфра-Инженерия)
1
Алфавит
Новинки/дата
Год издания
16
50
100
Все
Технологические процессы в микро- и наноэлектронике
Авторы
Родионов Ю.А.
Издательство
Инфра-Инженерия
Год издания
2019
Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии, соответствующему оборудованию
и оснастке, используемым для получения технологического слоя. Приводятся конкретные примеры решения обратных задач по определению технологических режимов получения слоев с заданными параметрами. Освещены регламентные работы в промышленном производстве. Рассмотрены основные экологические проблемы в промышленных технологиях. <br>Для студентов, обучающихся по специальности 11.00.00 "Электроника, радиотехника и системы связи", а также инженеров, занятых проектированием и обслуживанием электронных приборов.
...
Загружено
2020-03-14 04:37:59
в корзину
1