Справка
x
Поиск
Закладки
Озвучить книгу
Изменить режим чтения
Изменить размер шрифта
Оглавление
Для озвучивания и цитирования книги перейдите в режим постраничного просмотра.
Нанотехнологии и микромеханика
3. ФИЗИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ
Предыдущая страница
Следующая страница
Table of contents
ВВЕДЕНИЕ
1. ОСНОВЫ ТЕХНОЛОГИИ ПОЛУЧЕНИЯ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ
+
2. ТЕХНОЛОГИИ МИКРОМЕХАНИКИ
+
3. ФИЗИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ
-
3.1. Конденсация из паровой (газовой) фазы
3.2. Ионно-плазменные методы
3.3. Электрохимическое осаждение
4. МОДИФИКАЦИЯ СВОЙСТВ ПОВЕРХНОСТИ И ПРИПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ
+
5. ФОТОЛИТОГРАФИЯ
+
6. ОБЪЕМНОЕ ТРАВЛЕНИЕ
+
7. ТЕХНОЛОГИИ ПОВЕРХНОСТНОЙ МЕХАНИКИ
+
ЛИТЕРАТУРА
Данный блок поддерживает скрол*