Справка
x
Поиск
Закладки
Озвучить книгу
Изменить режим чтения
Изменить размер шрифта
Оглавление
Для озвучивания и цитирования книги перейдите в режим постраничного просмотра.
Нанотехнологии и микромеханика
4. МОДИФИКАЦИЯ СВОЙСТВ ПОВЕРХНОСТИ И ПРИПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ
Для продолжения работы требуется
Registration
Предыдущая страница
Следующая страница
Table of contents
ВВЕДЕНИЕ
1. ОСНОВЫ ТЕХНОЛОГИИ ПОЛУЧЕНИЯ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ
+
2. ТЕХНОЛОГИИ МИКРОМЕХАНИКИ
+
3. ФИЗИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ
+
4. МОДИФИКАЦИЯ СВОЙСТВ ПОВЕРХНОСТИ И ПРИПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ
-
4.1. Формирование структур методом диффузии
4.2. Формирование структур методом ионной имплантации и ионного легирования
4.3. Формирование структур молекулярно-лучевой эпитаксии
4.4. Формирование структур методом газофазной эпитаксии
5. ФОТОЛИТОГРАФИЯ
+
6. ОБЪЕМНОЕ ТРАВЛЕНИЕ
+
7. ТЕХНОЛОГИИ ПОВЕРХНОСТНОЙ МЕХАНИКИ
+
ЛИТЕРАТУРА
Данный блок поддерживает скрол*