Справка
x
Поиск
Закладки
Озвучить книгу
Изменить режим чтения
Изменить размер шрифта
Оглавление
Для озвучивания и цитирования книги перейдите в режим постраничного просмотра.
Физические основы микро- и нанотехнологий
6. Формирование оптического излучения
Поставить закладку
Контрольные вопросы и задания
Для продолжения работы требуется
Регистрация
Предыдущая страница
Следующая страница
Оглавление
Введение
1. Вакуум - рабочая среда для микро- и нанотехнологий
+
2. Теплопередача
+
3. Формирование потоков частиц
+
4. Взаимодействие потоков частиц с материалами
+
5. Формирование газоразрядной плазмы и ее взаимодействие с материалами
+
6. Формирование оптического излучения
-
6.1. Формирование микрорельефа в резисте
6.2. Системы экспонирования
6.3. Основы теории формирования микроизображений
6.4. Скалярная теория дифракции
Контрольные вопросы и задания
7. Проекционное формирование микроизображений
+
Список рекомендуемой литературы
Данный блок поддерживает скрол*