Справка
x
Поиск
Закладки
Озвучить книгу
Изменить режим чтения
Изменить размер шрифта
Оглавление
Для озвучивания и цитирования книги перейдите в режим постраничного просмотра.
Неравновесная плазма хлора: свойства и применение
Глава 4. Кинетика и механизмы травления Cu, GaAs и Si в плазме хлора и его смесей с Ar, N2, H2 и O2
Предыдущая страница
Следующая страница
Оглавление
Введение
+
Глава 1. Методические вопросы исследования параметров плазмы и гетерогенных плазменных процессов
+
Глава 2. Параметры плазмы и закономерности образования и гибели активных частиц при разряде в хлоре
+
Глава 3. Механизмы образования и гибели активных частиц в плазме смесей хлора с Ar, N2, H2 и O2
+
Глава 4. Кинетика и механизмы травления Cu, GaAs и Si в плазме хлора и его смесей с Ar, N2, H2 и O2
-
§ 4.1. Кинетика и механизмы травления Cu в плазме Cl2 и Cl2/Ar
§ 4.2. Кинетика и механизмы травления GaAs в плазме Cl2 и в смесях Cl2/Ar, Cl2/N2, Cl2/O2 и Cl2/H2
§ 4.3. Кинетика и механизмы травления монокристаллического кремния в плазме Cl2 и в смеси Cl2/Ar
Заключение: анализ механизмов влияния начального состава смеси на скорость травления
Литература
Данный блок поддерживает скрол*